Da die Nachfrage nach schnelleren, kleineren und energieeffizienteren elektronischen Geräten stetig wächst, setzt die Halbleiterindustrie auf fortschrittliche Fertigungsausrüstung, die von modernster optischer Technologie angetrieben wird. Von Lithografie und Metrologie bis hin zur Wafer-Inspektion und Prozesskontrolle ermöglichen unsere Lösungen die nächste Generation von Mikrochips. Mit Hochleistungsoptiken von Materion Balzers Optics erreicht die Halbleiterfertigung neue Maßstäbe in Genauigkeit und Durchsatz.
Unsere spezialisierten Filter, Spiegel und Beschichtungen sind integraler Bestandteil folgender Bereiche:
Prozesskontrolle: Echtzeit-Optiküberwachungslösungen liefern verwertbare Daten, die Fabriken helfen, die Prozessstabilität zu erhalten und die Geräteleistung zu optimieren.
Lithografiesysteme: Extrem präzise Optiken ermöglichen die exakte Steuerung der Positionierung komplexer Schaltkreisstrukturen auf Wafern und unterstützen fortschrittliche Fertigungstechnologien.
Metrologie- und Wafer-Inspektionswerkzeuge: Ultrastabile interferometrische Komponenten und wellenspezifische Filter gewährleisten Messgenauigkeiten im Nanometerbereich für Overlay und kritische Abmessungen (CD). Hochsensible optische Sensoren und maßgeschneiderte Beschichtungen erkennen kleinste Defekte und Partikel und sichern so Ausbeute und Qualität in jeder Produktionsphase.
Broschüre (EN)
